姓名：刘涛
单位：西安交通大学
部门：机械工程学院
状态：未认证
研究领域（方向）
一、 光电智能检测技术及仪器
Optoelectronic intelligent inspection technology and instrument
二、 面向半导体晶圆的前道光学检测技术及装备
Optical inspection technology and equipment for front-end semiconductor wafers
三、 面向超精密加工的三维光学检测技术及仪器
3D optical inspection technology and instrument for ultra-precision machining
个人及...
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