陈宜方 - 复旦大学 信息科学与工程学院

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姓名：陈宜方

单位：复旦大学

部门：信息科学与工程学院

状态：未认证

个人简介

一、纳米光刻与纳米工艺技术
1. 高分辨率电子束光刻（High resolution electron beam lithography）
2. 三维灰度电子束光刻技术（Greyscale electron beam lithography for 3D profile）
3. 纳米压印光刻（Nanoimprint lithography）
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