王家敏 - 上海交通大学 材料科学与工程学院

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姓名：王家敏

单位：上海交通大学

部门：材料科学与工程学院

状态：未认证

个人简介
从事溅射靶材与薄膜两者性能关系的研究，薄膜的成膜工艺，组织结构和性能分析表征，新薄膜材料的研发，材料的失效分析。参加多项国家自然科学基金，上海市自然科学基金及重点项目的研究工作，包括高阻溅射靶材的制备 上海市重点产品开发生产技术难题攻关项目，新型溅射用靶材与薄膜性能之间关系的研究 上海市自然科学基金重点项目，新型金属间化合物Ti5Si3的探索及其金属学问题，59471002，国家自然科学基金，溅射薄膜性能和溅射靶材之...

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